學(xué)術(shù)方向： 電子信息，檢測(cè)技術(shù)，光學(xué)工程
科研能力： 長(zhǎng)期從事集成電路制造工藝、電子束技術(shù)、半導(dǎo)體裝備等研究工作。2006～2013年在英國(guó)工作期間成功研制了國(guó)際首臺(tái)并行納米光刻系統(tǒng)。2013引進(jìn)到中科院電工所，任研究員；2020年按高層次人才入職廣東半導(dǎo)體所，任半導(dǎo)體儀器裝備及熱表征技術(shù)學(xué)科帶頭人。迄今主持國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃之重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)、中科院科研裝備研制、廣東省重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)防科技領(lǐng)域基金等多項(xiàng)項(xiàng)目/課題，在Nano letters等刊物和會(huì)議上發(fā)表論文30余篇，申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利20余項(xiàng)。
科研項(xiàng)目： 1. 激光濕度檢測(cè)自適應(yīng)算法及復(fù)雜工況下的測(cè)量、控制方法.國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃,重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)（2017-2019） 2. 高精度大掃描場(chǎng)電子束復(fù)合聚焦偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)研制.廣東省科技廳，重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(2020-2023)。
科研成果（近五年）： 1. N-type vapor diffusion for the fabrication of GaSb thermophotovoltaic cells to increase the quantum efficiency in the long wavelength range.Solar Energy Materials and Solar Cells,2019 2. Suppression of the surface “dead region” for fabrication of GaInAsSb thermophotovoltaic cells.olar Energy Materials and Solar Cells,2017 3. A novel thermophotovoltaic optical cavity for improved irradiance uniformity and system performance.energy,2020。
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